风机－滤网机组(Fan-Filter Unit，FFU)是一种结合送风机与高效滤网(HEPA / ULPA)的气流循环与过滤设备(见图一)，目前大量的使用于各类无尘室中，做为无尘室二次侧循环过滤系统的主要设备，同时也是整个无尘室气流处理的终端设备(见图二)。使用FFU的无尘室，一般又可依其铺设密度分为层流型(laminar)无尘室与紊流型(turbulent)无尘室两大类，层流型无尘室FFU是百分之百的覆盖于天花架(ceiling grid)上，而紊流型无尘室则视设计需要而定。层流型无尘室一般都在Class 1000以内，紊流型无尘室则是在Class 1000以外，而不论是层流或紊流无尘室，室内可再依制程的要求，利用机台(内也可使用FFU)或局部空间(如洁净隧道)创造洁净度更高的环境，也就是所谓的微环境(mini-environment)了，充分表现出FFU式无尘室在创造洁净空间上的弹性与优势。风机－滤网机组的使用大概始于1980年代前后，到1990年代几乎新建的无尘室(特别是在亚太地区)均属FFU型态，而且因为大量使用的缘故，使得技术的发展也日新月异。
早期无尘室多属所谓中央式系统，工作区上方或侧边仅铺设滤网或盲板(blank panel)，气流则必须藉由风机直接(如图三)或空调箱经风管系统间接(如图四)做二次循环，从能源效率的观点来看，中央式风机系统由于没有管路的损失，而且风机运转效率高，因此会优于空调箱风管系统。与FFU系统相比较，大型中央式系统平衡困难度较高，不过维修主要是针对在少数几台大型送风机或空调箱，目标清楚且较容易施做，但是中央式系统只要一台风机或空调箱出问题，除非备用机组能立刻上线(on line)，否则无尘室大概就必须停摆，而FFU系统这方面的风险相对较小。近来由于马达与网路控制技术的发展，FFU系统因数量而造成维修不便的情形已获得改善，透过网路监控，再多的机组也能在一台监视器上完全显示。 FFU无尘室系统由于风机直接在工作区上方，因此工作区相对于回风道及天花架上气舱乃正压空间，工作区以外污染物比较无法借泄露进入工作区；相反的，中央式系统工作区乃负压空间，因此泄露的风险性比FFU系统高。不论是中央式或FFU式无尘室，图五显示除了制程设备之外，周边(厂务)系统以冷冻空调系统最耗能，而其中又以气流输排、循环、过滤系统为最大，因此冷冻空调系统的节能与气流输排、循环、过滤系统的选用及设计关系重大。
风机─滤网机组技术风机─滤网机组基本上是送风机技术的延伸，不过由于无尘室对可靠度、振动及噪音问题相当敏感，因此在马达、扇叶与风道的设计及整体组装品质的要求上比一般送风机高；另外由于在洁净空间及机台上的大量铺设，加上连续不间断使用的特性，能源使用量的加乘效果相当可观，所以能源效率也是不能忽视的性能。事实上在传统的大型HVAC系统的运转上，如果将耗能设备大致分为主机及送风系统两大类，统计资料显示送风系统的耗能总量远大于主机，原因之一是主机并不会不停的全载运转，但送风系统只要HVAC系统开启，便几乎不停的运转。无尘洁净室也是HVAC系统的一种，自然也有相似的运转特征，而且研究与实测资料也显示，送风循环过滤系统确实是制程设备外最耗能源的系统。从设计的观点而论，气动效率(aerodynamic efficiency)高的扇叶与风道设计，配合上高效率马达的使用及组装上严格的品质控制，就能同时达到振动、噪音的抑制与提升能源效率、可靠度的多重目的。
目前市场上FFU的品牌正逐渐增多，但是并没有标准的性能测试方法，同时因为FFU系统的费用与洁净室整体(含制程)的造价不成比例，因此使用者也多未能注意到对其性能的要求，反而可能使风机─ 滤网机组系统成为未来营运上的一大负担，对环境保护也造成额外的负面影响。 FFU既然是送风机技术的延伸，引用送风机性能的标准测试方法自属合理，不但可做为产品技术发展的依据，也可提供不同产品间性能比较的一致基础。图六是FFU在工研院能资所AMCA实验室(AMCA Laboratory)进行气动性能与噪音(声功率位准，sound power)测试的情形，图七是FFU在工研院能资所CNLA认证的噪音实验室测试(声压位准，sound pressure level)的情形；图八是FFU在最大风量运转时(零压力点)做振动量量测的情形，必要的话也可做其他运转点的振动量量测。国内外许多厂商均曾委托前述两实验室进行FFU研发、产品确认或技术审核的测试，由测试结果显示，不论从原理或实际应用面，目前的国际送风机气动性能与噪音标准测试方法，都符合FFU气动性能测试的需求，而FFU的滤除效率、出风均匀度(uniformity)及平行度(inclination)等其他特性，则可依IEST建议的方法测试获得。
如前所述，目前无尘室气流循环设计大概分FFU式、中央风机式与中央空调箱式三大类，每一类无尘室本身都可进一步在设备及系统设计上做改善，不过上述三类无尘室目前在世界上的分布并不平均，大致上亚太地区多用FFU式无尘室，美洲地区则是中央式无尘室，欧洲地区则是由中央式转FFU式。除了习惯、经验等非技术性因素之外，能源效率(运转成本)也是考虑的重点，不过目前对上述三类无尘室气流循环系统的能源效率评估并无定论，基本上是习惯用那类的，就说那类的能源效率高。图十五、十六及十七分别是三个研究的部份结果，显示目前对三类气流循环系统的能源效率比较，除了在中央风机式比中央空调箱式能源效率高上有一致看法外，无法在FFU式与中央式之间做出明显的结论。其实做系统间的比较本来就不容易，所谓「苹果与苹果比、橘子与橘子比」的原则大家都了解，但如何定义不同系统设计下的苹果或橘子就绝不单纯，而且在前述的比较原则下，现实上可比较的实例几乎不可能存在，比较可行的方式是藉由分析及实验室内实验的比较。
就以中央风机式无尘室与FFU式无尘室比较而论，纯就设备的能源效率来比较，大型轴流风机的风机全压效率(fan total efficiency)理想上可达80%，假设马达效率可达90%，则电效率是两者的乘积72%，如果考虑消音箱对风机造成的损失，使风机全压效率降至70%，则电效率也随之降到63%(假设马达效率不变)；风机─ 滤网机组直流无刷马达效率也可达到90%，假设风机(含滤网)全压效率50%，则电效率为45%。当然，在单机实际的运转点上，马达效率或许没这么高，因此电效率也就不可能达到63%及45%，不过在都是最好的情形下，轴流风机的单机电效率高于FFU大致是没有疑问的。可是系统上的情形又如何呢？由于直流无刷马达可以在相当大的操作范围里保持高效率出力，而大型轴流风机在变频运转后马达效率会急速下降，因此在无尘室做气流控制、运转调配时(即非设计点操作)，FFU式系统会比较占优势应该也不会有太大争议。那设计点运转(即定频操作)时如何？回答这个问题之前，首先要确认的是怎么样的两个系统算是相对等？只要求工作区空间大小及总循环风量相同是否可以？要不要进一步要求工作区上方气舱、下方的高架地板及回风道尺寸相同？须不须要要求工作区内部气流分布相同或只要两者均符合洁净等级的要求即可？以上列出的要求之间可不可能有相互矛盾之处？是否还有其他更重要的条件要考虑？目前可能对上述的问题并没有答案，因此对图十五、十六及十七所含资讯的解读，必须要能先回答这些问题。
可见比较两个不同的气流循环系统的能源效率组技术的开发外，另外也正朝建立实验设施、实验技术及分析能力的方向迈进，图18即为一座Class 10、具备全自动量测系统的实验用无尘室，希望能在不久的将来即可提供有效的实测数据，做为比较的佐证。图十九则是分析用的小型中央式与FFU式系统简图，FFU为市面上的高效率4'x3'/AC机种，操作点电效率20%以上，轴流风机则属可变节距( variable pitch)型式，全速运转时操作点效率80%以上，两系统除了工作区高度、深度及宽度相同外，其余尺寸均按系统的特性做最佳化设计安排。在系统总风量为16560 CMH时，经使用FLOVENT软体并实际引用FFU及风机的性能曲线下，两系统的气流循环耗能模拟分析结果如表二所示，Axla6及FFU6两案显示耗能状况并无明显差别，工作区内气流状态虽不完全相同，但也都在IEST建议的范围内，因此在目前的设定下，定频系统的耗能似乎不因是中央式或FFU式而有明显不同。
